發布日期:2022-04-18 點擊率:64
Cellon Peripheral Circuit(以下簡稱Cell on Peri)構造由美光(Micron)與英特爾(Intel)陣營開發,采用將3D NAND Flash晶胞(Cell)數組堆棧在外圍電路CMOS邏輯IC上的方式,以縮減采3D NAND Flash解決方案的芯片面積。DIGITIMES Research觀察,三星電子(Samsung Electronics)已提出類似此一構造的COP(Cell Over Peri)方案,將有利整合組件廠(Integrated Device Manufacturer;IDM)三星、東芝(Toshiba)提升其3D NAND Flash競爭力。
然而,Cell on Peri構造將原先在不同制程制作的3D NAND Flash與邏輯電路結合于單一制程,雖有其優點,但尚存諸多課題,包括相關產線與設備需延伸、擴大,將導致業者的資本支出增加,且3D NAND Flash經高溫制程后,恐因高溫而破壞下方CMOS電路,將影響良率。
由于三星同時生產3D NAND Flash與邏輯電路,如Cell on Peri構造能克服良率與成本等問題,可望成為其爭取蘋果(Apple)應用處理器(Application Processor;AP)訂單的優勢,而東芝半導體事業涵蓋3D NAND Flash與系統LSI,美光與英特爾陣營亦可結合雙方3D NAND Flash與CPU,運用Cell on Peri構造,有助其提升3D NAND Flash競爭力。
另外,3D NAND Flash若引進Cell on Peri構造,由于在形成外圍區域后,需經過化學機械研磨(Chemical Mechanical Polishing;CMP)制程使之平坦化,才能于其上形成3D NAND Flash晶胞數組,將使得CMP制程的重要性提高。
Cell on Peri構造有利采3D NAND Flash解決方案縮減芯片面積
Cellon Peri系由美光與英特爾陣營所開發,其與Peri under Cell是相同概念,意味先形成外圍(Peripheral)區域后,再堆棧晶胞,也就是運用將3D NAND Flash晶胞數組堆棧在外圍電路CMOS邏輯IC上的方式,縮減采3D NAND Flash解決方案的芯片面積。
具體而言,Cell on Peri構造將字符線譯碼電路與感測放大器(Sense Amplifier)電路置于下層,且將3D NAND Flash晶胞數組置于上層。
為此,Cell on Peri構造需增加約4層的金屬配線,其中2層金屬配線位在3D NAND Flash晶胞數組下方,用來鏈接上方3D NAND Flash晶胞數組及下方CMOS電路。
至于另2層金屬配線,則在3D NAND Flash晶胞數組上方,分別為位線與電源總線(Bus)。
美光與英特爾陣營于3D NAND Flash所開發的Cell on Peri構造
數據源:美光、英特爾、南韓NH投資證券
換個方式比喻,Cell on Peri構造如同將商店街設于住宅下方的住商混合大樓,有利于節省土地面積,反觀既有構造則如同住宅與商業用途各自分開的兩棟大樓,需較大土地面積。
Cell on Peri構造有利采3D NAND Flash解決方案縮減芯片面積示意圖
數據源:南韓NH投資證券
由于外圍區域占整體3D NAND Flash約30%面積,將3D NAND Flash晶胞數組堆棧在外圍電路之上,有助于采用3D NAND Flash解決方案縮減芯片面積
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