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　　濕度傳感技術(shù)是至關(guān)重要的一個(gè)廣泛的應(yīng)用程序,包括暖通空調(diào)和制冷;醫(yī)療設(shè)備,如CPAP機(jī)和呼吸機(jī);資產(chǎn)跟蹤和存儲(chǔ)設(shè)備的食品和制藥行業(yè);工業(yè)控制系統(tǒng);氣象儀器;汽車氣候控制和除霧;和移動(dòng)計(jì)算設(shè)備。盡管行業(yè)的數(shù)量和應(yīng)用程序需要它,相對(duì)濕度(RH)測(cè)量中更艱難的技術(shù)挑戰(zhàn)在環(huán)境遙感。

　　準(zhǔn)確的濕度測(cè)量是一個(gè)重要的一部分控制濕度,以防損壞,不適,或來探測(cè)這個(gè)事件可能造成產(chǎn)品損壞在存儲(chǔ)或過境。對(duì)于廣泛使用,RH傳感必須可以在組件形式,使容易,具有成本效益的整合與電子控制。

　　技術(shù)測(cè)量濕度

　　濕度可以被量化在許多方面,但最重要的測(cè)量對(duì)維持大氣質(zhì)量相對(duì)濕度(RH)。這是比實(shí)際的水蒸氣存在于空氣的水量存在于飽和空氣,它不能吸收更多的水分。絕對(duì)濕度被定義為大眾的水蒸氣溶解在一個(gè)潮濕的空氣的總量在給定的溫度和壓力。

　　電子濕度傳感技術(shù)

　　電子濕度傳感器克服許多大小和成本問題,瘟疫老技術(shù)。最普遍采用的技術(shù)要么靠在一個(gè)變化的阻力或電容吸附材料。一個(gè)電容傳感器由兩個(gè)電極,一個(gè)介電材料。通常,隨著空氣中水汽含量增加,傳感器的介電常數(shù)的增加,改變測(cè)量電容對(duì)應(yīng)濕度水平。一個(gè)電阻傳感器由兩個(gè)電極,一個(gè)導(dǎo)電層。在這種情況下,在濕度變化導(dǎo)致的導(dǎo)電性變化遙感層。

　　新技術(shù)來制造薄膜使這些類型的相對(duì)濕度傳感器準(zhǔn)確、穩(wěn)定、容易大量生產(chǎn)。選擇吸濕材料保證快速響應(yīng)時(shí)間與小滯后。例如,一個(gè)聚酰亞胺薄膜,可以制造于不同厚度的<5μm變化的反應(yīng),可以在<10年代濕度,同時(shí)提供優(yōu)良的穩(wěn)定性。一個(gè)電子RH的準(zhǔn)確性傳感器受限于它的漂移隨著時(shí)間的推移,通常很大的變化引起的溫度和濕度或污染物的存在。

　　提高測(cè)量的準(zhǔn)確性RH,它也有助于測(cè)量溫度提供溫度補(bǔ)償?shù)腞H測(cè)量設(shè)備如有必要。確定露點(diǎn)或絕對(duì)濕度,空氣溫度也是必需的。例如,一個(gè)1°C誤差測(cè)量溫度會(huì)產(chǎn)生大約1°C誤差在露點(diǎn)計(jì)算。最好的準(zhǔn)確性、濕度和溫度的測(cè)量應(yīng)該被盡可能接近對(duì)方,理想情況下共存于同一芯片。這種接近很難實(shí)現(xiàn)與許多傳統(tǒng)電子傳感器的設(shè)計(jì)。

　　當(dāng)今的許多電子傳感器設(shè)計(jì)使用離散電阻和電容式傳感器,混合動(dòng)力車,和多芯片模塊(反水雷艦),如圖3所示。這些遺留方法遭受高的BOM成本和組件計(jì)數(shù),大腳印,需要?jiǎng)趧?dòng)密集型的客戶校準(zhǔn)。另一個(gè)問題是離散傳感器解決方案常常不符合標(biāo)準(zhǔn)的表面組裝技術(shù)(SMT)組裝流動(dòng)。