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    真空材料的表面凈化是為了清除表面吸附的油污，以減少材料在真空中的氣體放出。真空材料表面凈化的基本方法主要是有機(jī)溶劑清洗和超聲波清洗。有機(jī)溶劑清洗時(shí)，常用的清洗液有軟化水、乙醇、丙酮、金屬清洗劑等。

    超聲波清洗的工作原理是，向液體導(dǎo)入超聲波后，液體的激烈運(yùn)動(dòng)使局部產(chǎn)生壓強(qiáng)差。壓強(qiáng)低的部分會(huì)產(chǎn)生大量的氣泡，當(dāng)壓強(qiáng)重新升高時(shí)，這些氣泡會(huì)在瞬間破裂，從而在液體中產(chǎn)生沖擊波。沖擊波會(huì)將固體表面的油污剝離。超聲波清洗用的液體一般采用酒精或丙酮。經(jīng)過(guò)超聲波清洗的部件放到大氣中后，酒精或丙酮會(huì)立刻蒸發(fā)，不會(huì)在部件表面留下水垢。

    真空腔體以及內(nèi)部部件的氣體放出量，和材料的表面積直接相關(guān)。固體表面的原子密度大約為2×10¹⁹/m²，考慮到表面的凹凸不平，實(shí)際的固體表面會(huì)吸附大量的氣體分子。通過(guò)拋光使表面更加平坦，可以大大減小表面積，從而減少表面吸附的氣體分子。拋光主要有玻璃丸噴砂和電解拋光兩種手法。

    玻璃丸噴砂處理成本低，但是處理后的固體表面粗糙度大，放出氣體仍然比較多，目前采用的越來(lái)越少。

    電解拋光的原理是將金屬部件放置于酸性的電解液中，金屬部件連接陽(yáng)極，電極和容器作為陰極，通電使金屬部件面向陰極的凸起部分先溶解，金屬部件成分中的Fe和Ni原子溶入到電解液中，最終達(dá)到平滑表面的目的。靈活設(shè)置陰極電極，則對(duì)于筒狀的金屬部件內(nèi)外表面都可以拋光，也可以對(duì)金屬部件進(jìn)行選擇性局部拋光。

    電解拋光可消除金屬表面的細(xì)小凹凸(0.01um~幾u(yù)m)，使其呈現(xiàn)金屬光澤，但是無(wú)法消除比較大的凹凸。電解拋光是典型的電化學(xué)拋光方法，表面形成的氧化膜也會(huì)減少氣體分子的吸附。

    還有一種特殊的表面處理方式，即向真空腔體內(nèi)導(dǎo)入特殊氣體，在腔體內(nèi)誘發(fā)放電，產(chǎn)生的離子撞擊腔體內(nèi)壁而獲得平滑表面。

    經(jīng)過(guò)表面凈化的真空腔體和部件，不可直接用手觸摸，以免手汗中的碳?xì)浠锖吐然镂廴荆涣硗庖惨M量避免塵埃和水汽等污染物。

（慧樸科技,huiputech）